Electronic fuse, eFuse

Bei On-Wafer Messungen von Leistungshalbleitern mit teuren Tastköpfen, auch Probes genannt, kann ein Verrutschen des Tastkopfes oder eine unzuverlässige Kontaktierung rasch zu einem hohen DC-Strom führen und sowohl das Testobjekt als auch den Tastkopf zerstören.

Agil Elektronik hat dafür in Zusammenarbeit mit der FBH, Berlin eine extrem schnelle elektronische eFuse entwickelt. Dabei wird zunächst der maximale Gleichstrom eingestellt. Wird dieser Gleichstromwert während der Messung überschritten, schaltet die eFuse den Strom innerhalb von etwa 300ns ab. Durch diese extrem schnelle Abschaltung wird die elektrische Energiemenge beim Auftreten des Kurzschlusses derart reduziert, dass eine Zerstörung des Tastkopfes und der Leiterbahnen in vielen Fällen vermieden wird. Nach dem Abschalten geht der Gleichstromanschluss in den hochohmigen Zustand über und es wird keine nennenswerte Leistung im eFuse Gerät in Wärme umgewandelt. Zur einfachen Integration in automatisierten Messplätzen dient eine RS232-Schnittstelle, durch die alle Funktionen ferngesteuert werden können. Dazu kann der aktuelle Strom und der Gerätestatus ausgelesen werden.

Weitere Details zur neuen eFuse III finden Sie hier.