eFuse / Probe Protector

Eine eFuse (elektronische Sicherung) in der HF-Messtechnik ist ein elektronisches Schutzelement, das empfindliche Messgeräte wie teure Prüfspitzen (Probes) und Tastköpfe vor der Zerstörung bei einem Kurzschluss schützt. Die sehr kompakte und einfach zu bedienende eFuse trennt den Gleichstrompfad im Fehlerfall innerhalb von Nanosekunden.

Bei On-Wafer Messungen von Leistungshalbleitern mit teuren Probes kann ohne eine Probe Protection ein Verrutschen der Prüfspitze oder eine unzuverlässige Kontaktierung rasch zu einem hohen DC-Strom führen, und sowohl das Testobjekt als auch die Probe zerstören.

Der Stromkreis wird durch dieses Gerät, auch Probe Protector genannt, geleitet und beim Überschreiten einer einstellbaren maximalen Stromgrenze in kurzer Zeit unterbrochen. Zur Integration in automatisierten Messplätzen dient ein RS232-Interface, durch welches alle Funktionen ferngesteuert werden können.