HF-Positioner
Manipulatoren für HF-Probes
Für präzises, zuverlässiges und stabiles Kontaktieren mit empfindlichen und kostspieligen HF-Probes stehen von unserem Partner Signatone Inc. die bewährten Manipulatoren der Baureihe S-M40 und S-M90 zur Verfügung.
| Merkmale | S-M40 | S-M90-OST, S-M90-WEST |
| Bedienung |
Für OST-, WEST-, NORD- und SÜD-Richtung verwendbar. Mikrometer-Stellschrauben nach hinten geführt, um möglichst viel Platz auf den Platen der Probe-Station zu sparen. |
Es gibt zwei spiegelsymmetrische Varianten: S-M90-OST und S-M90-WEST. Die Mikrometerschraube für die Y-Achse ragt zum Anwender, was die Bedienung erleichtert. Vorsicht: bei Konfigurationen mit mehr als zwei Positionern ragen Y-Mikrometer-Stellschrauben nach hinten. |
| Befestigung | Schaltbarer Magnetfuß oder Metallfuß zum Anschrauben | Schaltbarer Magnetfuß oder Metallfuß zum Anschrauben |
| Probe-Arme | Verfügbar für die Richtungen: OST, WEST, NORD, SÜD |
Verfügbar für die Richtungen: OST, WEST, NORD, SÜD |
| Planarisierung | Am Probe-Arm angebracht | Am Probe-Arm angebracht |
Ausführungsbeispiele
| Signatone S-M40 Manipulator | ||
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Befestigungsvariante: Probe-Arm: XYZ Stellweg: XYZ Auflösung: |
Magnetfuß mit Hebelschalter Für NORD-Richtung 25 mm Ca. 2 µm mit 40 Turns/Inch Mit Mikrometerschraube zur Planarisierung der Probe-Spitzen zu den Wafer-Pads |
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Signatone S-M90-OST Manipulator |
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Befestigungsvariante: Probe-Arm: XYZ Stellweg: XYZ Auflösung: |
Magnetfuß mit Hebelschalter Für OST-Richtung 25 mm Ca. 2 µm mit 40 Turns/Inch Mit Mikrometerschraube zur Planarisierung |
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Manipulatoren für Tuner oder mmWellen-Module
Für die Kontaktierung von Probes, die mit einer Hohlleiterverbindung starr mit einem Tuner oder einem mmWellen-Modul verbunden sind, empfehlen wir die Manipulatoren der S-LAP90 Serie von Signatone Inc.. In diesem Fall wird der Probe mit dem starr verbundenen Modul bewegt.
| Merkmale |
S-LAP90-OST, S-LAP90-WEST |
| Bedienung |
Es gibt zwei spiegelsymmetrische Varianten: S-LAP90-OST und S-LAP90-WEST. Sonderkonstruktionen mit bis zu vier S-LAP-Manipulatoren auf einer Platen können angefragt werden. (Voraussetzung: Probe-Station muss groß genug sein und Gesamtlast tragen können). |
| XYZ-Bewegungsachsen |
Mit 25mm Stellweg und einer Auflösung von einigen Mikrometern. |
| Planarisierung |
Standardmäßig vorhanden für die Richtungen OST und WEST. Ausgeführt mit Mikrometerschraube. |
| Befestigung |
Metallfuß zum Anschrauben auf der Platen der Probe-Station.
Je nach Montageart werden unterschiedliche Metallfüße verwendet. |
| Probe-Arme |
Standarmäßig verfügbar für die Richtungen OST und WEST |
