In der Entwicklung von Leistungshalbleitern wird es immer wichtiger, die Parameter des Bausteins möglichst ohne störende parasitäre Einflüsse zu messen. Hier wird mit speziellen, meist kundenspezifischen und auf die Messgeräte zugeschnittenen Probearmen gearbeitet.

Zur Übertragung von hohen Strömen sind Nadeln mit großen Kontaktquerschnitten notwendig. Gegebenenfalls muss der Strom auf mehrere Nadeln aufgeteilt werden, was zu Platzproblemen führen kann.

 

Die Messung von hohen Spannungen direkt auf dem Wafer erfordert eigens dafür entwickelte Probeholder. Diese sind standardmäßig in der Klasse bis 3 kV und 10 kV verfügbar. Jeweils in der Ausführung mit koaxialer oder triaxialer Zuleitung. Probeholder für noch höhere Spannungsklasse stehen auf Anfrage zur Verfügung.

Durch die fehlende Isolation der Vergussmasse kann es bei Hochspannungstests gerne zu störenden Überschlägen kommen. Um dies zu unterdrücken, gibt es diverse Speziallösungen. Hierzu beraten wir Sie im Einzelfall gerne.

Beschreibung zum Probeholder HCP 100 von Signatone

Beschreibung zum Probeholder HVP-CX-3 von Signatone

Beschreibung zum Probeholder HVP-CX-10 von Signatone

Beschreibung zum Probeholder HVP-TX-3 von Signatone

Beschreibung zum Probeholder HVP-UX-20 von Signatone

Sollten Sie Fragen zu einzelnen Probearmen haben, kontaktieren Sie gerne

Herrn Norbert Bauer
mail: norbert.bauer@bsw-ag.com
Tel.:   +49 (0)7032 / 895 93-1