ESD Charakterisierung für HBM, MM, TLP, VF-TLP, HMM und CDM
Charakterisierung an integrierten Schaltkreisen nach internationalen Standards
Der Begriff ESD steht für „Electrostatic Discharge“ und meint die elektrische Entladung zwischen zwei Punkten hoher Potentialdifferenz. Was am Himmel spektakulär als Blitz zu sehen ist, kann man im kleineren Maßstab im Laboralltag mit unterschiedlichsten Geräten angehen.
Oft werden einfachste Prüfungen, z.B. an ganzen elektronischen Schaltungen mit vergleichsweise simplen Testeinrichtungen, vorgenommen, um deren Immunität gegenüber statischen Entladungen (z.B. Aufladung durch Teppichböden) zu demonstrieren.
Bei den im Folgenden vorgestellten Geräten handelt es sich um Messsysteme, die zur präzisen Analyse des Verhaltens von Schutzschaltungen in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Die Tests werden nach den Vorgaben von international anerkannten Normen mit kalibrierten Meßgeräten durchgeführt.
Zur Charakterisierung werden unterschiedliche Methoden herangezogen. Diese sind:
HBM: Human Body Model - eine der beiden "erforderlichen" Methoden
CDM: Charged Device Model - die andere "erforderliche" Methode
MM: Machine Model (nicht mehr so oft angewandt)
TLP: Transmission Line Testing
VF-TLP: Very Fast TLP
HMM: Human Metal Model
Mit der Firma Grund Technical Solutions haben wir einen Partner, der innovative Lösungen für alle oben genannten Tests anbietet. Eine flexible Hardware wird durch ein umfangreiches Softwarepaket komplettiert. In Zusammenarbeit mit dem namhaften Prober-Hersteller Signatone, stehen technisch ausgereifte Lösungen zum Testen von Modulen oder Wafern, angefangen bei manuellen Stationen bis hin zu High Speed Semiautomatischen Lösungen, zur Verfügung.
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Pure Pulse |
Scorpion |
Titan |
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HBM |
✓ 4kV, 8kV option |
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✓ 16kV |
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TLP |
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VF-TLP |
✓ 750V 1-10ns Pulse Width 100ps Rise Time Cannot be combined with other pulsers |
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HMM |
✓ 16kV |
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MM |
✓ 400V |
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CDM |
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✓ 1kV (2kV uncalibrated) |
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Test at wafer level |
✓ |
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Automated testing |
✓ Flying Probes Semi-Automatic Probe Station |
✓ Semi-Automatic Probe
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Bias |
✓ Up to 10 |
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DC Leakage |
✓ |
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Capture waveforms |
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✓ |
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All test models without hardware changes |
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Upgrades |
✓ Pulsers Bias |
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Test packages |
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✓ |
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Package max pin count |
Unlimited (100mm x 100mm) |
Unlimited (150mm x 150mm) |
48 128 option |
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Form factor |
Tabletop + Probe Station |
Floor Standing |
Tabletop |
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Dimensions |
W x L x H 17.5" x 14.5" x 12.5-24" 44cm x 37cm x 32-61cm |
W x L x H 23" x 26" x 48" 59cm x 66cm x 122cm
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W x L x H 19.5" x 14.5" x 9" 49.5cm x 37cm x 23cm
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Dimensions of probe station |
W x L x H 27" x 30" x 22" 69cm x 76cm x 56cm |
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