Bits & Chips Benelux RF Conference 29. Mai 2024 Nijmegen

Vortrag Sajjad Ahmed | Focus Microwaves: Sub THz load pull and Noise parameter characterization

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ESD Charakterisierung für HBM, MM, TLP, VF-TLP, HMM und CDM

Charakterisierung an integrierten Schaltkreisen nach internationalen Standards

Der Begriff ESD steht für „Electrostatic Discharge“ und meint die elektrische Entladung zwischen zwei Punkten hoher Potentialdifferenz. Was am Himmel spektakulär als Blitz zu sehen ist, kann man im kleineren Maßstab im Laboralltag mit unterschiedlichsten Geräten angehen.

 

Oft werden einfachste Prüfungen, z.B. an ganzen elektronischen Schaltungen mit vergleichsweise simplen Testeinrichtungen, vorgenommen, um deren Immunität gegenüber statischen Entladungen (z.B. Aufladung durch Teppichböden) zu demonstrieren.

 

Bei den im Folgenden vorgestellten Geräten handelt es sich um Messsysteme, die zur präzisen Analyse des Verhaltens von Schutzschaltungen in der Halbleiterindustrie verwendet werden. Die Tests werden nach den Vorgaben von international anerkannten Normen mit kalibrierten Meßgeräten durchgeführt.

 

Zur Charakterisierung werden unterschiedliche Methoden herangezogen. Diese sind:

 

HBM: Human Body Model - eine der beiden "erforderlichen" Methoden

CDM: Charged Device Model - die andere "erforderliche" Methode

MM: Machine Model (nicht mehr so oft angewandt)

TLP: Transmission Line Testing

VF-TLP: Very Fast TLP

HMM: Human Metal Model

 

Mit der Firma Grund Technical Solutions haben wir einen Partner, der innovative Lösungen für alle oben genannten Tests anbietet. Eine flexible Hardware wird durch ein umfangreiches Softwarepaket komplettiert. In Zusammenarbeit mit dem namhaften Prober-Hersteller Signatone, stehen technisch ausgereifte Lösungen zum Testen von Modulen oder Wafern, angefangen bei manuellen Stationen bis hin zu High Speed Semiautomatischen Lösungen, zur Verfügung.

 

Produktvergleich

 

Pure Pulse

Scorpion

Titan

HBM

4kV, 8kV option

-

16kV

TLP

1kV

30-100ns Pulse Width

2-10ns Rise Time

 

-

-

VF-TLP

750V

1-10ns Pulse Width

100ps Rise Time

Cannot be combined

with other pulsers

-

-

HMM

16kV

-

-

MM

400V

-

-

CDM

-

1kV (2kV uncalibrated)

-

Test at wafer level

-

-

Automated testing

Flying Probes

Semi-Automatic Probe Station

Semi-Automatic Probe

 

-

Bias

Up to 10

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-

DC Leakage

-

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Capture waveforms

-

All test models without hardware changes

Upgrades

Pulsers

Bias

-

-

Test packages

Package max pin count

Unlimited

(100mm x 100mm)

Unlimited

(150mm x 150mm)

48

128 option

Form factor

Tabletop + Probe Station

Floor Standing

Tabletop

Dimensions

W x L x H

17.5" x 14.5" x 12.5-24"

44cm x 37cm x 32-61cm

W x L x H

23" x 26" x 48"

59cm x 66cm x 122cm

 

W x L x H

19.5" x 14.5" x 9"

49.5cm x 37cm x 23cm

 

Dimensions of probe station

W x L x H

27" x 30" x 22"

69cm x 76cm x 56cm

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