Micropositioner | Probe-Positioner | Manipulatoren | Mikromanipulatoren

Wenn es vorwiegend darum geht, elektrische Signale von einer Schaltung zu einem Messgerät zu bringen, nutzt man häufig spezielle feinmechanische Einrichtungen, um sehr genau zu positionieren und zu kontaktieren.

Angewendet werden diese Geräte sowohl bei der Kontaktierung von feinen Leiterbahnen zur Fehlersuche in gedruckten Schaltungen, genannt Printed Circuit Boards (PCBs), als auch bei der Forschung und Entwicklung von Halbleitern auf Wafern. Würde im Fall der Leiterplatte manchmal noch eine feine Tastspitze und eine ruhige Hand für einzelne Testpunkte ausreichen, so ist ein Antasten auf Halbleiterscheiben (Wafern) ohne diese mechanischen Helfer aufgrund der Strukturgröße unmöglich.

Dieses unverzichtbare Zubehör wird bezeichnet als:

• Micropositioner,
• Probe-Positioner,
• Manipulatoren oder auch
• Micro-Manipulatoren

Eine einheitliche Bezeichnung hat sich noch nicht durchgesetzt. Wir verwenden hier im Folgenden den Begriff Micropositioner.

Untergliedern kann man Micropositioner in:

• Kostengünstige, einfache Micropositioner für allgemeine Aufgaben im Waferprobing sowie in der Elektronik
• Mittelklasse Micropositioner, um genau zu positionieren und flexibel in der Wahl der verwendbaren Probespitzen und Halter zu sein
• Performance Micropositioner für höchste Präzision auf feinsten Strukturen
• RF und uW Micropositioner sind für die speziellen Anforderungen beim On-Wafer Test von Hoch- und Höchstfrequenz-Bauelementen optimiert

Der komplette Micropositioner besteht prinzipiell aus drei Teilen:

• Dem Micropositioner

Hier haben Sie die Wahl zwischen drei Varianten, nämlich den einfachen Micropositionern, den Mittelklasse-Micropositionern und den Performance-Micropositionern, die jeweils unterschiedlich präzises Positionieren ermöglichen.

• Dem Fuß

Der Fuß stellt die mechanische Fixierung des Micropositioners auf der Befestigungsebene (Platen) des Probers dar. Zur Wahl stehen magnetische oder Vakuumbefestigungen.

Die magnetische Befestigung kommt ohne zusätzliche Einrichtungen aus. Sie benötigt eine magnetisierbare Fläche (Platen), auf der sie stabil stehen kann.

Die Vakuumbefestigung saugt den Micropositioner durch Unterdruck an der Befestigungsfläche (Platen) des Probers an. Ist keine zentrale Unterdruckleitung vorhanden, muss eine kleine, lokale Vakuumpumpe vorgesehen werden. Jeder Micropositioner wird über seinen eigenen, dünnen Schlauch mit einem Vakuumverteiler am Prober angeschlossen und mit Vakuum versorgt.

• Dem Probe Arm

Der Probe Arm stellt die Schnittstelle zur Messtechnik dar. Damit wir Ihnen ein Angebot unterbreiten können, brauchen wir dazu Informationen zu Ihren Messaufgaben.

Die Bandbreite des Angebotes reicht von einfachen über koaxialen bis hin zu triaxialen Signalführungen. Bei Kapazitätsmessungen und Messungen sehr kleiner Ströme werden auch gerne AP&T-Spitzen verwendet. Für Anwendungen im Bereich hoher Ströme und Spannungen sind spezielle Arme verfügbar.

Zum Artikel der Probe Arme kommen Sie hier.

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Bitte kontaktieren Sie uns:

Herrn Norbert Bauer
mail: norbert.bauer@bsw-ag.com
Tel:   +49 (0) 7032 / 895 93-1