Treffsicheres Antasten von elektrischen Schaltungen auf Leiterplatten oder Wafern

Micropositioner | Probe-Positioner | Manipulatoren | Mikromanipulatoren

Wenn es vorwiegend darum geht, elektrische Signale von einer Schaltung zu einem Messgerät zu bringen, nutzt man häufig spezielle feinmechanische Einrichtungen, um sehr genau zu positionieren und zu kontaktieren.

Angewendet werden diese Geräte sowohl bei der Kontaktierung von feinen Leiterbahnen zur Fehlersuche in gedruckten Schaltungen, genannt Printed Circuit Boards (PCBs), als auch bei der Forschung und Entwicklung von Halbleitern auf Wafern. Würde im Fall der Leiterplatte manchmal noch eine feine Tastspitze und eine ruhige Hand für einzelne Testpunkte ausreichen, so ist ein Antasten auf Halbleiterscheiben (Wafern) ohne diese mechanischen Helfer aufgrund der Strukturgröße unmöglich.

Dieses unverzichtbare Zubehör wird bezeichnet als:

  • Micropositioner,
  • Probe-Positioner,
  • Manipulatoren oder auch
  • Micro-Manipulatoren

Eine einheitliche Bezeichnung hat sich noch nicht durchgesetzt. Wir verwenden hier im Folgenden den Begriff Micropositioner.

Untergliedern kann man Micropositioner in:

  • Kostengünstige, einfache Micropositioner für allgemeine Aufgaben im Waferprobing sowie in der Elektronik
  • Mittelklasse Micropositioner, um genau zu positionieren und flexibel in der Wahl der verwendbaren Probespitzen und Halter zu sein
  • Performance Micropositioner für höchste Präzision auf feinsten Strukturen
  • RF und uW Micropositioner sind für die speziellen Anforderungen beim On-Wafer Test von Hoch- und Höchstfrequenz-Bauelementen optimiert

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