Antasten kleinster Strukturen auf Wafern mit computergestützten, motorischen Micropositionern

Mit computergestützten, motorischen Micropositionern kann man auch bei kleinsten Strukturen kontaktieren. Dieser Fall tritt häufig bei modernen Halbleitern für Forschungszwecke oder bei Fehleranalysen auf.

Um manche der immer kleiner werdenden Strukturen bei modernen Halbleitern für Forschungszwecke oder in Rahmen der Fehleranalyse überhaupt noch kontaktieren zu können, braucht man computergestützte, motorische Micropositioner. Mithilfe dieser Manipulatoren können Nadeln mit einer Auflösung im Nanometerbereich genauestens und ohne störende Vibrationen aufgesetzt werden.

Computergestützter, motorischer Micropositioner von Signatone
Motorischer Micropositioner von Signatone CAP-946

Die Bedienung erfolgt so, dass man keine Hand an den Manipulator legen muss, sondern entweder über einen speziellen ergonomischen Joystick oder über die Software der Probersteuerung.

Der CAP-946 kann „Standalone“ (mit dem Joystick) oder im Verbund mit einem (halbautomatischen) Prober verwendet werden.

Datenblatt zu Signatone CAP-946

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