Was macht ein Wafer Prober?
Ein Wafer Prober ist ein Gerät, das in Industrie und akademischer Forschung dazu verwendet wird, elektrische Kontakte zu Schaltungen und Strukturen auf Halbleiterscheiben (Wafern) oder sonstigen Substraten herzustellen.
Typischerweise umfasst er einen Chuck zur Aufnahme und Positionierung des Wafers, Mikromanipulatoren oder automatische Positioniereinheiten, optische Systeme zur Ausrichtung, Temperaturregelung, Abschirmung sowie Software zur Wafer-Navigation und Messautomatisierung.
Es gibt diese Probe Stations mit unterschiedlicher Ausstattung. Allgemein kann man folgende Merkmale unterscheiden:
- Grad der Automatisierung (Manuelle, Halbautomatische oder Vollautomatische Betriebsweise)
- Spezielle Ausstattungen für z.B. HF Messungen oder zur Messung sehr kleiner oder sehr großer Spannungen und Ströme
- Universelles Zubehör zur Anpassung an bestimmte Messaufgaben
- Einsatz bei HF-, Millimeterwellen- und Terahertz-Messungen
Automatisierungsgrad der Wafer Testsysteme
Manuelle Wafer Prober
Einfache Messaufgaben an einer kleineren Zahl von Prüflingen oder Anwendungen in der Ausbildung und Lehre erfordern normalerweise keine Automatisierung. Für solche Anwendungsprofile steht eine breite Palette von manuellen Wafer Probern zur Verfügung – von preisgünstigen Einsteigermodell bis zur manuellen High-End Maschine.
Wafer Prober - Halbautomaten
Sollen eine größere Anzahl von Samples automatisiert und ohne permanente Aufsicht geprüft werden, kommen meist halbautomatische Probe Stations zum Einsatz. Hier wird die zu prüfende Halbleiterscheibe oder das Substrat zu Beginn einer Messung von Hand in den Prober eingelegt. Alle folgenden Schritte werden daraufhin von einem Zentralrechner gesteuert automatisch ausgeführt.
Wafer Prober - Vollautomaten
Für die Auswertung von Messungen an großen Mengen von Prüflingen (wie z.B. ganzer Chargen oder Lots) stehen Vollautomatische Wafer Prober zur Auswahl. Hier wird eine ganze Charge von Wafern getestet, die in speziellen Kassetten aufbewahrt werden. Das Entnehmen und Positionieren eines Wafers auf dem Chuck, sowie der Rücktransport in die Kassette, erfolgt automatisch. Diese automatisierten Probe Stations eignen sich aufgrund ihrer Geschwindigkeit auch für Produktionsanwendungen.
Ausbaufähige Halbautomaten
Eine wichtige Brücke bilden halbautomatische Wafer Prober, die sich zu Vollautomaten ausbauen lassen. Durch solche Anlagen hat ein Anwender die Sicherheit, dass seine Investition auch bei steigenden Stückzahlen gesichert ist.
Individuelle Konfiguration Ihres Wafer Testsystems
Egal ob es sich um ein Einsteigermodel oder eine hochspezialisierte Sonderlösung handelt, wir haben die passende Lösung für Sie. Die optimal angepasste Konfiguration eines Waferprobers richtet sich nach den geplanten Messungen, die Sie durchführen möchten. Gerne klären wir gemeinsam in einem Beratungsgespräch alle relevanten Faktoren.
Lösungen zum Charakterisieren von Wafern unter speziellen Bedingungen
- Testen im Hochvakuum und/oder bei sehr tiefen Temperaturen
- Anwendung in der Grundlagenforschung
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Ihr bsw TestSystems & Consulting Sales Team
