Wozu werden Wafer Probes eingesetzt?
Wafer Probes werden eingesetzt, um Signale und Messwerte auf sehr kleinen Kontaktflächen zuverlässig zu erfassen – zum Beispiel an Transistoren, Dioden, integrierten Schaltungen, Sensoren oder passiven Strukturen.
In der HF-Messtechnik, z.B. beim Wafer Probing, übertragen RF Microprobes das Messsignal vom koaxialen Kabel oder Messgerät auf die Kontaktpads des Prüflings. Sie kommen unter anderem bei S-Parameter-Messungen, Leistungs-, Rausch- und Millimeterwellenmessungen zum Einsatz. Entscheidend sind dabei eine reproduzierbare Kontaktierung, geringe Signalverluste, stabile Impedanzverhältnisse und eine möglichst geringe Beeinflussung des Prüflings.
Die sehr feinen Prüfspitzen werden vor allem in der Elektronik, Halbleitertechnik und Qualitätssicherung eingesetzt.
Hochwertige Probes und weiteres Zubehör finden Sie in unserem Shop.
Gerne beraten wir Sie zur richtigen Auswahl.
Zubehör für Hochfrequenz-Anwendungen im On-Wafer-Test
Für präzise Messergebnisse im On-Wafer-Test ist nicht nur die Wafer Probe selbst entscheidend. Der gesamte mechanische und elektrische Messaufbau muss zur Anwendung passen. Wir bieten dafür eine breite Palette an Zubehörartikeln verschiedener internationaler Hersteller.
Was gehört zum typischen HF-Zubehör?
- Wafer Probes und Probenadeln für DC-, HF- und Spezialmessungen
- Probe Holder und Nadelhalter zur stabilen Aufnahme der Kontaktiernadeln
- Micropositioner und Manipulatoren, um präzise zu justieren und kleinste Strukturen exakt zu kontaktieren
- Chucks und Thermochucks zur sicheren Aufnahme des Wafers und für Messungen bei definierten Temperaturen
Als erfahrener Partner in der Hochfrequenz- und Halbleitertesttechnik verbinden wir praxisnahes Anwendungswissen mit Projekterfahrung und unterstützen Sie bei der Konzeption kompletter Testlösungen. Außerdem bieten wir Wafer Probes und weitere Komponenten verschiedener Hersteller, wie zum Beispiel Picoprobe, für vielfältige Messaufgaben und Anwendungen an.
Wafer Probes, Probenadeln und Probe Holder
Die feinen Tastspitzen stellen den elektrischen Kontakt zum Prüfling her und sind damit ein kritisches Glied in der Messkette. Einfache Probenadeln eignen sich für Standardmessungen. Spezielle Prüfnadeln werden eingesetzt, wenn sehr kleine Ströme und Spannungen, hohe Ströme und Spannungen oder besondere Messgrößen wie Kapazitäten geprüft werden sollen.
Probe Holder verbinden die Probenadel mechanisch mit dem Micropositioner. Sie fixieren den elektrischen Kontakt zum Prüfling, führen das Kabel zum Messgerät und überbrücken die Distanz zwischen Micropositioner und Kontaktpad auf dem Wafer. Für anspruchsvolle Anwendungen, wie z.B. beim Kontaktieren mit koaxial- oder triaxial geführten Messleitungen für hochempfindliche DC-Messungen in abgeschirmten Kammern, stehen entsprechend spezialisierte Lösungen zur Verfügung.
Probe Cards werden vor allem in automatisierten Wafer-Sort- und Produktionstests eingesetzt, wenn viele Kontaktpunkte oder mehrere Dies gleichzeitig kontaktiert werden sollen.
Chucks und Thermochucks
Chucks dienen zur stabilen Aufnahme und Positionierung des Wafers. Thermochucks erweitern den Messaufbau um definierte Temperaturbedingungen. Dadurch lassen sich Bauteile bei unterschiedlichen Temperaturen charakterisieren – von Tieftemperatur- bis Hochtemperaturmessungen. So können reale Einsatzbedingungen im Labor besser nachgebildet werden.
Wir sind Experten für Hochfrequenz: Fragen Sie uns.
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Ihr bsw TestSystems & Consulting Sales Team
